发明名称 SOLID SOLUTION LAYERS HETEROEPITAXIAL BUILDING-UP METHOD BASED ON INDIUM-ALUMINUM ARSENIDE USING
摘要
申请公布号 RU1785048(C) 申请公布日期 1992.12.30
申请号 SU19904849742 申请日期 1990.07.19
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 LITVAK ALEKSANDR M,SU;MOISEEV KONSTANTIN D,SU;CHARYKOV NIKOLAJ A,SU;YAKOVLEV YURIJ P,SU
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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