PROJECTION/EXPOSURE DEVICE AND PROJECTION/EXPOSURE METHOD,申请号EP19900906337-传众专利搜索

发明名称	PROJECTION/EXPOSURE DEVICE AND PROJECTION/EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号	EP0426866(A4)	申请公布日期	1992.12.30
申请号	EP19900906337	申请日期	1990.04.20
申请人	HITACHI, LTD.	发明人	OSHIDA, YOSHITADA SHONAN RAIFU TAUN B-16-6;TANIMOTO, TETSUZO 2308-2-402, SHIMONAGAYACHO;TANAKA, MINORU 1-11-3-708, SERIGAYA KONAN-KU
分类号	G01B9/02;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/26;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/00;H01L21/027	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
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