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发明名称 METAL-ION SOURCE AND PROCESS FOR THE GENERATION OF METAL IONS
摘要
申请公布号 EP0470209(B1) 申请公布日期 1992.12.30
申请号 EP19900912792 申请日期 1990.08.31
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KLUGE, ANDREAS;NELLE, PETER
分类号 C23C14/48;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/322 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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