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发明名称 EXPOSURE APPARATUS INCLUDING TWO ILLUMINATING SYSTEMS AND EXPOSURE PROCESS USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0503847(A3) 申请公布日期 1992.12.30
申请号 EP19920301916 申请日期 1992.03.05
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISOHATA, JUNJI
分类号 G02F1/1343;G02F1/13;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
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