| 发明名称 |
STRUCTURE AND METHOD FOR DIRECT CALIBRATION OF REGISTRATION MEASUREMENT SYSTEMS TO ACTUAL SEMICONDUCTOR WAFER PROCESS TOPOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2070880(A1) |
申请公布日期 |
1992.12.29 |
| 申请号 |
CA19922070880 |
申请日期 |
1992.06.09 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
CORLISS, DANIEL A. |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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