发明名称 SEMICONDUCTOR THIN FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04373120(A) 申请公布日期 1992.12.25
申请号 JP19910151342 申请日期 1991.06.24
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA TAKESHI;SUGIURA HIDEO;IGA RYUZO
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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