发明名称 METHOD FOR VERIFYING LAYOUT PATTERN
摘要
申请公布号 JPH04372155(A) 申请公布日期 1992.12.25
申请号 JP19910150169 申请日期 1991.06.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA MASUMI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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