发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04373163(A) 申请公布日期 1992.12.25
申请号 JP19910150753 申请日期 1991.06.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SEGAWA MIZUKI;KAMEYAMA SHUICHI;HORI ATSUSHI;SHIMOMURA HIROSHI
分类号 H01L21/283;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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