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摘要
申请公布号
JPH0482061(B2)
申请公布日期
1992.12.25
申请号
JP19850255437
申请日期
1985.11.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUJISHIMA KAZUYASU;KUMANOTANI MASAKI;MYATAKE HIDEJI;HIDAKA HIDETO;DOSAKA KATSUMI;KONISHI YASUHIRO
分类号
H01L27/04;H01L21/822
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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