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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04372133(A) 申请公布日期 1992.12.25
申请号 JP19910149079 申请日期 1991.06.21
申请人 NEC CORP 发明人 TAMAKOSHI AKIRA
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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