发明名称
摘要
申请公布号 JPH0481560(B2) 申请公布日期 1992.12.24
申请号 JP19850132647 申请日期 1985.06.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES 发明人 SHIKADA SHINICHI;KIKUCHI KENICHI
分类号 C30B31/22;C30B29/40;H01L21/265 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
主权项
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