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经营范围
发明名称
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04371578(A)
申请公布日期
1992.12.24
申请号
JP19910174621
申请日期
1991.06.19
申请人
SONY CORP
发明人
SUGANO YUKIYASU
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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