PROCEDE ET APPAREILLAGE POUR REALISER UNE COUCHE PAR DIFFUSION DE GAZ, A TRAVERS UN PUITS D'ALUMINIUM.

摘要

a) Procédé et appareillage pour réaliser une couche par diffusion de gaz, à travers un puits d'aluminium.
b) Procédé et appareillage caractérisés en ce que le dispositif de chauffage se compose d'un four à plusieurs zones et la chambre de cornues (3) comprend deux conduites d'amenée de gaz porteur (9, 10) avec deux puits d'aluminium (4, 11) séparés, situés dans la zone la plus chaude de la chambre de cornues (3) et destinés à recouvrir les surfaces extérieures et intérieures de l'élément de construction (5), et il existe une conduite d'évacuation commune (12) pour les gaz de la réaction.