| 发明名称 |
PROBE, SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE AND INSPECTING METHOD OF ANISOTROPY OF PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04370701(A) |
申请公布日期 |
1992.12.24 |
| 申请号 |
JP19910148697 |
申请日期 |
1991.06.20 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
SEKI KAZUHIDE;HAZAKI EIICHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q60/16;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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