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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04370949(A) 申请公布日期 1992.12.24
申请号 JP19910147426 申请日期 1991.06.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KAMEYA MASAHIRO;YONESHIMA MUNEYA
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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