| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04370640(A) |
申请公布日期 |
1992.12.24 |
| 申请号 |
JP19910146298 |
申请日期 |
1991.06.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AZUMA JUNZO;HARAICHI SATOSHI;ITO FUMIKAZU;MORI JUNICHI;OKAMOTO EMIKO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/244;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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