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发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHE SULFONSAEUREESTER UND DEREN VERWENDUNG
摘要
申请公布号 DE4120174(A1) 申请公布日期 1992.12.24
申请号 DE19914120174 申请日期 1991.06.19
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 PAWLOWSKI, GEORG, DR., 6200 WIESBADEN, DE;ROESCHERT, HORST, DR., 6531 OBER-HILBERSHEIM, DE;SPIESS, WALTER, DR., 6110 DIEBURG, DE;PRZYBILLA, KLAUS-JUERGEN, DR., 6000 FRANKFURT, DE
分类号 G03F7/004;C07D251/24;C08L61/06;C08L61/28;C09D161/06;G03F7/00;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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