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发明名称 PLASMA ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 AU632269(B2) 申请公布日期 1992.12.24
申请号 AU19890028824 申请日期 1989.01.25
申请人 AUSTRALIAN NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGY ORGANISATION 发明人 IAN JAMES DONNELLY;JOHN TENDYS
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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