| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zur emissionsfreien Reinigung von Präzisions-Optiken angegeben, das folgende Verfahrensstufen enthält: (a) Vorbehandlungs-Prozeß, bestehend aus dem Reinigen in einem Bad, welches gepuffertes Leitungswasser enthält, dem Tenside als Netzmittel zugesetzt sind, wobei eine Badumwälzung und eine Feinstfilterung vorgesehen sind und zusätzlich eine Einwirkung mittels Ultraschalls, vorzugsweise mit variablen Frequenzen und Amplituden, erfolgt; sodann Spülen mit netzmittelfreiem, gepuffertem Leitungswasser bei gleichzeitiger Feinstfilterung des Frischwassers und Einwirkung mittels Ultraschalls; sodann erneutes Reinigen und erneutes Spülen; sodann Spülen mit gepuffertem, de-ionisiertem Wasser unter Einwirkung mittels Ultraschalls und Brausen mit de-ionisiertem Wasser unter gleichzeitiger Feinstfilterung des Bades; (b) Abbauen von organischen Verunreinigungen sowie der Tensid-Reste bis zum CO2 mittels kurzwelliger UV-Strahlung oder hochbeschleunigter Elektronen oder Glimmentladung unter Aufrechterhaltung einer drucklosen Sauerstoffatmosphäre oder einem bis zu 5 bar betragenden Sauerstoffatmosphären-Druck oder einer drucklosen Ozonatmosphäre oder einem bis zu 2 bar betragenden Ozonatmosphären-Druck; (c) Überprüfen der Grenzflächen der aus Glas bestehenden Optiken in bezug auf Reaktionen mit organischen Radikalen, auf Abbaureaktionen an der Glasoberfläche bzw. auf Änderungen der Oberflächengeometrie; (d) Hauptbehandlungs-Prozeß, bestehend aus den nachfolgenden Stufen: Verdrängen des Wassers auf der Glasoberfläche beispielweise mittels nicht-flüchtiger, hydrophober, reaktiver Substanzen oder mittels nicht-flüchtiger, hydrophober Substanzen; Versiegeln der Oberfläche durch Filmbildung mittels UV- bzw. Elektronenstrahlung und Beschichten der Oberflächen, wobei entweder durch Glimmen ein Abbau der Oberflächenversiegelungsschicht zum Metalloxid oder durch Glimmen eine Aktivierung der Oberflächenversiegelungsschicht erfolgt. Nach Abschluß dieses FCKW-freien Reinigungsverfahrens kann das entsprechende Optikbauteil beispielsweise durch Aufbringen einer Kitt- oder einer Vergütungsschicht weiterbehandelt werden.</p> |
