| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING A PECVD TEOS OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2256967(A) |
申请公布日期 |
1992.12.23 |
| 申请号 |
GB19920012661 |
申请日期 |
1992.06.15 |
| 申请人 |
* MOTOROLA INC |
发明人 |
ARVID C * CARLSON;TUNG HAI TOM * WU |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/505;H01L21/316;H01L21/762;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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