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经营范围
发明名称
PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号
JPH04369208(A)
申请公布日期
1992.12.22
申请号
JP19910145726
申请日期
1991.06.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MIYAMOTO TERUO;NAI YASUTO;UCHIYAMA TOSHIE;YAGI TOSHINORI;ZUMOTO NOBUYUKI;TOMOTA TOSHIMASA;KAMON KAZUYA;TANAKA MASAAKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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