发明名称 OPTICAL THICKNESS MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04369409(A) 申请公布日期 1992.12.22
申请号 JP19910115093 申请日期 1991.05.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HISAKUNI AKIRA
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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