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发明名称 METHOD OF DIFFUSING BORON TO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04369216(A) 申请公布日期 1992.12.22
申请号 JP19910171671 申请日期 1991.06.17
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 SHINOMIYA MASARU;MOROGA ISAO;OTA YUTAKA;KATAYAMA MASAYASU
分类号 C01B35/02;H01L21/225 主分类号 C01B35/02
代理机构 代理人
主权项
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