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发明名称 ANISOTROPICAL ETCHING METHOD OF SILICON SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04369868(A) 申请公布日期 1992.12.22
申请号 JP19910173142 申请日期 1991.06.18
申请人 CHICHIBU CEMENT CO LTD 发明人 SHIBAOKA SADAO;TAKEI AKIHIKO;OGAWA MASAYUKI;NAGAOKA SHINJI
分类号 H01L21/306;H01L29/84 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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