| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT CAPACITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04369861(A) |
申请公布日期 |
1992.12.22 |
| 申请号 |
JP19910147165 |
申请日期 |
1991.06.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHITSUJI MITSURU;FUJIMOTO HIROMASA |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8252;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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