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发明名称 SILICON GERMANIUM FILM AND MANUFACTURE THEREOF, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED USING SAID FILM
摘要
申请公布号 JPH04369829(A) 申请公布日期 1992.12.22
申请号 JP19910146378 申请日期 1991.06.19
申请人 NEC CORP 发明人 TAKANO HIROSHI;TATSUMI TORU
分类号 H01L21/20;H01L21/203 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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