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发明名称 RESIST COATING METHOD AND EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04368117(A) 申请公布日期 1992.12.21
申请号 JP19910170761 申请日期 1991.06.15
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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