| 发明名称 |
ATOM LAYER CRYSTAL GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04368120(A) |
申请公布日期 |
1992.12.21 |
| 申请号 |
JP19910169238 |
申请日期 |
1991.06.14 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SHINOHARA MASANORI;YOKOYAMA HARUKI |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B29/42;C30B29/68;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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