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发明名称 DRY ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04368127(A) 申请公布日期 1992.12.21
申请号 JP19910144336 申请日期 1991.06.17
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI YASUSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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