| 发明名称 |
ULTRA-FINE MACHINING METHOD USING SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04368762(A) |
申请公布日期 |
1992.12.21 |
| 申请号 |
JP19910145103 |
申请日期 |
1991.06.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAKURAI TSUTOMU;MATSUO JIRO |
| 分类号 |
B23H7/26;B23G1/02;G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;H01J37/30 |
主分类号 |
B23H7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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