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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0454468(Y2) 申请公布日期 1992.12.21
申请号 JP19880038315U 申请日期 1988.03.25
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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