发明名称 ELECTRON MICROSCOPE OBJECTIVE DIAPHRAGM DRIVE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04366539(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910143047 申请日期 1991.06.14
申请人 JEOL LTD 发明人 SUZUKI SEIICHI
分类号 H01J37/09;H01J37/26 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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