| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04366958(A) |
申请公布日期 |
1992.12.18 |
| 申请号 |
JP19910143423 |
申请日期 |
1991.06.14 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ITO TOSHIO;KOSUGE MAKI;SAKATA YOSHIKAZU |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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