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发明名称 CLEANING OF SILICON WITH HF GAS
摘要
申请公布号 JPH04366196(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910140338 申请日期 1991.06.12
申请人 CENTRAL GLASS CO LTD 发明人 MORI ISAMU;FUJII TADASHI;KOBAYASHI YOSHIYUKI
分类号 C09K13/08;C23C16/44 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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