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发明名称 PRODUCTION OF EPITAXIAL CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04367588(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910143737 申请日期 1991.06.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UCHISHIBA HIDEMA
分类号 C30B23/02;C30B29/10;H01L21/208 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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