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经营范围
发明名称
METHOD FOR FORMING TANTALUM OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH04367515(A)
申请公布日期
1992.12.18
申请号
JP19910144660
申请日期
1991.06.17
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SHIBUYA MUNEHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;KAMATA TAKESHI;HIRAO TAKASHI
分类号
C01G35/00;C23C16/40;H01L21/316
主分类号
C01G35/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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