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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04367224(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910143550 申请日期 1991.06.14
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MIZUNO MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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