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发明名称 OPTICAL MEASURING METHOD AND DEVICE OF DISPLACEMENT
摘要
申请公布号 JPH04366703(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910167726 申请日期 1991.06.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORI SADAO;AKATSU TOSHIO;MIYAZAKI CHUICHI;SUGAWARA HIROYUKI;KINOSHITA KAZUTO
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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