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发明名称 SINGLE-WAFER HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04367223(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910142844 申请日期 1991.06.14
申请人 NEC CORP 发明人 HOSOKAWA KAZUNORI
分类号 G01J5/00;H01L21/22;H01L21/26 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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