| 发明名称 |
METHOD OF EVALUATION BY FOREIGN MATERIAL INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04366753(A) |
申请公布日期 |
1992.12.18 |
| 申请号 |
JP19910142994 |
申请日期 |
1991.06.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KENBO YUKIO;NOGUCHI MINORU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G03F9/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
