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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04367231(A) 申请公布日期 1992.12.18
申请号 JP19910169137 申请日期 1991.06.14
申请人 CANON INC 发明人 OSADA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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