| 发明名称 |
METHOD OF FORMING COATINGS CONTAINING AMORPHOUS SILICON CARBINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU632107(B2) |
申请公布日期 |
1992.12.17 |
| 申请号 |
AU19900053109 |
申请日期 |
1990.04.11 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
KENNETH GEORGE SHARP;LEO TARHAY |
| 分类号 |
C01B31/36;C23C16/32;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/314 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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