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发明名称 REACTIVE HIGH-FREQUENCY SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04365862(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910142793 申请日期 1991.06.14
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD;SEIKO INSTR INC 发明人 IWAMI MUNENORI;KURIYAMA NOBORU;KURODA YOSHIKI
分类号 C23C14/35;C23C14/40 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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