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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH04365344(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910140539 申请日期 1991.06.13
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 FUJINO SHIGEO
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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