发明名称 PIEZOELEKTRISCHES STELLGLIED.
摘要
申请公布号 DE3782604(D1) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 DE19873782604 申请日期 1987.08.28
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO PRODUKTIONS- & MARKETING KG, 7517 WALDBRONN, DE 发明人 MARTH, DR. DIPL.-ING., HARRY, W-7517 WALDBRONN 1, DE
分类号 H01L41/08;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
地址