发明名称 POST-TREATMENT OF LIQUID PHASE EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH04364721(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910140391 申请日期 1991.06.12
申请人 MITSUBISHI RAYON CO LTD 发明人 YONEDA MUNEHISA;ICHIMURA KIYOSHI;TOSHI AKIHITO;AMAKASU SACHIYO
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
地址