发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MOS-TRANSISTORS AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 DE3280420(D1) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 DE19823280420 申请日期 1982.12.10
申请人 THORN EMI NORTH AMERICA INC., COLORADO SPRINGS, COL., US 发明人 RYDEN, WILLIAM D.;HANSON, MATTHEW V., COLORADO SPRINGS COLORADO 80906, US;DERBENWICK, GARY F., COLORADO SPRINGS COLORADO 80907, US;GNADINGER, ALFRED P., COLORADO SPRINGS COLORADO 80906, US;ADAMS, JAMES R., COLORADO SPRINGS COLORADO 80919, US
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/00 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
地址