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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04365353(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910140513 申请日期 1991.06.13
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 ISHIHARA KUNIYASU
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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