发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04365366(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910141976 申请日期 1991.06.13
申请人 MITSUBISHI DENKI ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KURITA SHIGERU;IDETA HIROSHI
分类号 H01L27/01 主分类号 H01L27/01
代理机构 代理人
主权项
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