发明名称 INSPECTING METHOD OF HYBRID INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04364485(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910167681 申请日期 1991.06.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORIYAMA KYOICHI;MIYOSHI MOTOHIDE
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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