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发明名称
INSPECTING METHOD OF HYBRID INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04364485(A)
申请公布日期
1992.12.16
申请号
JP19910167681
申请日期
1991.06.11
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MORIYAMA KYOICHI;MIYOSHI MOTOHIDE
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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